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          產品目錄Products
          
		
	   
	   
          
	   
	  
          
	  
	  
          
   
          
   
   
    
             
	    
           
		   技術文章Article
		   首 頁  > 技術文章 > 加熱式電容膜片真空計SKY@CDG160D/CDG200D
		 
          
		 
      
           		 	
		
          
            
          
              加熱式電容膜片真空計SKY@CDG160D/CDG200D
            
          
            
          
              點擊次數：764 更新時間：2024-11-19
            
          
            
          
               
            
          
            
          
              

          加熱式電容膜片真空計
          SKY@CDG160D/CDG200D
           
           
          INFICON  SKY  CDG160D和CDG200D  高溫壓力計是實現
          精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D  和CDG200D
          真空計溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性





          能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在1托至1000托
          滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場
          總線接口，能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性
          壓力信號。INFICON  電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔
          膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從
          大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優
          勢 。INFICON   CDG壓力傳感器品質本效
          益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
           
          優勢
          ·擁有成本更低，預熱速度快50%,節能，低功耗
          ·易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
          ·輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
          ·診斷端口用于快速維修和維護
          ·兩年保修服務， HT 加熱概念和真空計保護延長了使用壽
          命
          的信號穩定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子
          應用，都無需長期執行重新校準
          ·合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
          應用范圍
          ·蝕刻、CVD、PVD及其他半導體生產過程
          ·化學和腐蝕性高溫過程
          ·需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
           


           
          SKY@CDG160D/CDG200D
           
          638675996137643790524.png

           
           
          1)   優化的壓力控制信號濾波器設置
          2)   不能使用現場總線接口
           

           
          粗體=標準產品
          其他法蘭類型可按要求提供。
           
           
          638675996132237631146.png
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          SKY@CDG160D/CDG200D
           
          規格(以托為單位的標準產品)
           
          測量范圍
          托
          1000
          100             10
          1
          FS(滿刻度)
          毫巴
          帕
          133,322
          1333
          13,332           1,333
          133            13.3
          133
          1.3
          精度1)
          讀數%

          0.4

          溫度效應




          需點
          %FS/℃

          0.005

          滿量程
          讀 數 % / ℃

          0.02

          最大壓力
          千帕(絕對)
          400
          260             260
          260
          分辨率
          %FS

          0.003

          讀數
          %FS

          0.01

          建議的讀數
          %FS

          0.05

          建議的控制
          壓力
           
          %FS

           
          0.5

          溫度




          運行(環境)2
          ℃

          +10 .+50

          在法蘭處烘烤
          ℃

          ≤200

          存儲
          ℃

          -20 .…+65

          電源電壓


          +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%)

          加熱時功耗




          CDG160D
          W

          ≤18

          CDG200D
          W

          ≤25

          運行溫度時的功耗 CDG160D
          CDG200D
           
           
          W
          W

           
          ≤12
          ≤18

          輸出信號(模擬)
          伏(直流)

          0.…+10

          響應時間3)
          毫秒

          30

          防護等級


          IP 40

          標準
          CE符合性
          ETL認證
          SEMI合規性


           
          EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1
          SEMI S-2

          電氣連接


          D-Sub,15針，公頭

          設定值


          2個設定點(SP1、SP2)

          繼電器觸點
          伏(直流)/安(直

          ≤30/≤0.5

          滯后
          流 )
          %FS

          1

          診斷端口
          協議
          讀
          設置
          暴露于真空的材料


           
          RS232-C
          壓力、狀態、ID
          設定點、過濾器、調零、出廠設置復位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?)

          1)在25°℃環境運行溫度下表現為非線性、滯后、再現性，運行兩小時后無溫度效應
          2) 環境溫度>40℃,可能會使表面溫度高于SEMIS2 合規水平—標記“小心燙傷!"
          3)增加10.…90% FS
          4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
           
           
           


           
           
           
           

           
           
          SKY@CDG160D/CDG200D
           
          638675996132237631146.png

           

           
          SKY@CDG160D/CDG200D
           
          DEVICENET規格
           
          DeviceNetTM
          協議
          DeviceNetTM,僅第2組從屬
          數據率開關                         千波特
          125、250、500或可網絡編程
          電纜長度
          125 kbps                           米(英尺)
          250 kbps                           米(英尺)
          500 kbps                           米(英尺)
           
          500(1650)
          250  (825)
          100  (330)
          MAC ID
          兩個開關(地址00-63)或可網絡編程
          數字功能
          讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕
          脫氣功能，皮拉尼滿刻度調節
          監測真空計狀態
          安全狀態允許定義出錯時的行為
          詳細的警報和警告信息
          模擬功能
          0 …10伏模擬輸出壓力指示
          兩個設定點繼電器A+B
          視覺通訊指示燈
          LED網絡狀態(綠色/紅色)
          LED模塊狀態(綠色/紅色)
          規格
          DeviceNetTM“真空計設備概況"
          設備類型
          “CG"表示組合儀表
          /O從屬傳訊
          只輪詢
          設定點繼電器
          范圍
          繼電器觸點
          滯后
          觸點額定值
           
          毫巴
           
          讀數%
          伏/安(直流)
          2
          1×10°…100
          常開，無電勢
          10
          60/0.5
          DeviceNetTM的電源電壓 真空計的電源電壓
          DeviceNetTM的連接器
          伏/安(直流)
          伏/安(直流)
          +11-+25/0.5
          +20 -+28/0.8
          微型，5針
          D-Sub,15針，公頭
          真空計的連接器(模擬輸出、電源電壓、
          設定點
           
           

           
          PROFIBUS
          Profibus

          D規格
          DP

           
           
          波特率
          千波特
          兆 波 特
          9.6/19.2/93.75/187.5/500
          1.5/12
          地址
          兩 個 開 關 ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網 絡 編 程
          數字功能

          讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕
          脫氣功能，皮拉尼滿刻度調節
          監測真空計狀態、燈絲狀態
          安全狀態允許定義出錯時的行為
          詳 細 的 警 報 和 警 告 信 息
          模擬功能

          0…10伏模擬輸出壓力指示
          兩 個 設 定 點 繼 電 器 A + B
          設定點繼電器

          2
          范圍
          毫巴
          1×10?.…100
          繼電器觸點

          常開，無電勢
          滯后
          讀 數 %
          10
          觸點額定值
          伏/安(直流)
          ≤30/≤0.5
          Profibus  DP的連接器

          D-Sub,9  針，母頭
          BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設 定 點 )

          D-Sub,15    針，公頭
           
           
                  

           

          SKY@CDG160D/CDG200D
           
           
          638675996130662339941.png

           
          		
            
          
            
          
               
            
          
          
          
          
           
   

          
	  
          
       
   
          
   
   
           
  



          


          
  

          







          

          
	
	
          
		
          聯系方式
          
		
          
			
            
				
          • 86-411-87187730
            18804209403
            • 
			
          
		
          
		
          
	
          
	
	
	
          
		
          在線客服
          
		
          
			
            
				
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