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          德國gbs光學輪廓儀產品特點與用途
          點擊次數:53 更新時間:2025-08-07
           

          德國GBS光學輪廓儀技術解析

           

          一、品牌與產品概述

          德國GBS metrology GmbHGBS計量有限公司)是一家專注于光學測量技術的企業,總部位于德國伊爾梅瑙(Ilmenau)。該公司主要研發和生產基于白光干涉(WLI)技術的表面形貌測量設備,廣泛應用于工業檢測、科研及質量控制領域。GBS的光學輪廓儀以高分辨率、快速測量和良好的適應性為主要特點,適用于多種材料表面的微觀形貌分析。

           

          二、產品類型

          GBS的光學測量產品線涵蓋多種類型,主要包括:

          ? smartWLI GBScope–基礎型光學輪廓儀,適用于實驗室和工業檢測

          ? smartWLI GBScanner–高速掃描型光學輪廓儀,支持大范圍拼接測量

          ? smartWLI InLineSensor–集成式干涉傳感器,適用于自動化在線檢測

          ? smartWLI LabSystem–實驗室專用高精度測量系統

          ? smartWLI Pro–高性能光學輪廓儀,適用于復雜表面測量

          ? smartWLI Compact–緊湊型光學輪廓儀,適合空間受限環境

          ? smartWLI MultiSensor–傳感器集成系統,支持多種測量模式

          ? smartWLI HighSpeed–高速測量系統,適用于動態檢測需求

          ? smartWLI LargeArea–大視場測量系統,支持超大面積掃描

          ? smartWLI Custom–定制化光學輪廓儀,滿足特殊應用需求

           

          三、主要型號與技術參數

          GBS的光學輪廓儀型號豐富,不同型號適用于不同測量需求,以下是部分代表性型號及其技術參數:

          型號

          測量范圍 (XYZ)

          垂直分辨率

          橫向分辨率

          物鏡倍率

          測量速度

          GBScope 100

          100×100×50 mm3

          <1 nm

          ~0.3 µm

          2.5×–115×

          13 s/scan

          GBScanner 300

          300×300×100 mm3

          <1 nm

          ~0.5 µm

          2.5×–50×

          25 s/scan

          InLineSensor 50

          50×50×20 mm3

          <1 nm

          ~0.4 µm

          5×–50×

          <1 s/scan

          LabSystem 200

          200×200×80 mm3

          <0.5 nm

          ~0.3 µm

          2.5×–115×

          14 s/scan

          Pro 150

          150×150×60 mm3

          <0.5 nm

          ~0.3 µm

          ×–100×

          13 s/scan

          PCompact 80

          80×80×30 mm3

          <1 nm

          ~0.5 µm

          5×–50×

          12 s/scan

           

          工作原理GBS光學輪廓儀采用白光干涉(WLI)技術,利用寬光譜光源的短相干特性,通過干涉條紋對比度分析樣品表面高度信息。測量時,參考鏡沿Z軸移動,相機記錄干涉信號,計算每個像素點的最佳干涉位置,最終重建三維形貌。

           

          四、產品特點

          1、高分辨率測量垂直分辨率可達亞納米級,橫向分辨率達微米級,適合微觀形貌分析。

          2、快速掃描與拼接高速相機結合并行計算,單次掃描僅需13秒,支持大面積自動拼接。

          3、適應不同表面可測量鏡面、漫反射面及高斜率表面,通過算法優化提升信號捕捉能力。

          4模塊化設計物鏡轉塔、自動化選項等可靈活配置,適應不同應用需求。

          5、抗振動優化優化的掃描算法降低環境振動影響,提高測量穩定性。

           

          五、應用領域

          1精密制造 測量機械零件、刀具、模具的表面粗糙度、磨損及加工紋理。

          2、半導體與MEMS檢測晶圓、微機電系統的臺階高度、薄膜厚度及結構形貌。

          3、光學元件分析非球面、自由曲面及衍射光學元件的面形誤差(非超光滑表面)。

          4材料研究 研究涂層、復合材料、生物材料的表面特性及摩擦磨損行為。

          5質量控制檢測產品表面缺陷、劃痕、顆粒污染及幾何尺寸偏差。

           

          六、總結

          GBS光學輪廓儀憑借白光干涉技術的高分辨率和快速測量能力,在工業檢測、科研及質量控制領域具有廣泛應用。不同型號可滿足從實驗室研究到自動化產線檢測的多樣化需求。


           
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